表面潔凈度測試儀

一、儀器介紹

概述：

表面潔凈度測試儀采接觸式，量測物體表面的粒子數(shù)量的設(shè)備。半導(dǎo)體，面板廠，設(shè)備商與所有清潔部件廠商，驗證部件表面是否干凈的檢驗標準工具，人的肉眼很難看清直徑在100微米以下的粒子，這些粒子會快速沉降，逃避常規(guī)的空氣檢測從而聚集在關(guān)鍵表面或產(chǎn)品上，從而減少產(chǎn)品的良率及降低產(chǎn)品的穩(wěn)定性。

執(zhí)行標準：

ISO14644-9:2022《潔凈室和相關(guān)的受控環(huán)境第 9 部分:顆粒濃度表面清潔度的評估》  

二、儀器參數(shù)

技術(shù)參數(shù)：

控制系統(tǒng)：PLC

操作界面：7寸觸摸屏

流量:28.3L/min+5% 內(nèi)置流量傳感器，流量自動閉環(huán)控制

光源: 進口激光二極管

測試粒徑:0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0um（可根據(jù)客戶需求定制，最多八個通道）

最大飽和濃度:2000000/ft3（5%）

自凈時間:≤10min

測量次數(shù):0-99次周期:0-99999秒測量間:0-9999秒時時間:0-9999秒

潔凈度等級:1~9級

采樣頭規(guī)格:φ36.5

數(shù)據(jù)單位:m3、ft3

SCP等級:1級-8級

表面類型:圓形、方形

表面探頭:φ12.7 mm、φ20 mm、φ30 mm、φ50 mm、φ70 mm

數(shù)據(jù)單位:m2、ft2、in2、cm2、mm2

根據(jù)探頭的形狀（如:圓形輸入直徑、方形輸入長寬尺寸），自動計算出表面積。

打印功能:熱敏打印機

數(shù)據(jù)儲存:可儲存100000組數(shù)據(jù)

重量:15kg

外形尺寸:300*400*450mm

電源：AC220V 50Hz  150W （可選帶鋰電池組）

基本配置

主機   一臺

說明書 1份

合格證1份

簽收單1份

電源線1份

扳手1套

保修卡 一個

銘牌   一個